・フラックス洗浄や脱脂洗浄では汚染物を化学的に除去するのに対し、パーティクル洗浄では物理的に除去する。
・超純水や薬液の純度管理、フィルター交換、最適な洗浄剤や洗浄装置の選定、により除去率を高められる。

パーティクル残渣は生産設備周辺の人や物から発生する塵や埃がワークに付着したり、洗浄剤やリンス剤中に混入することで発生します。特に精密機器の生産工程においては、パーティクル残渣が外観不良や歩留まり低下などのトラブルの発生原因となることがあります。

 

パーティクルには洗浄剤や水に溶解しない物質が含まれていることも多く、フラックス洗浄や脱脂洗浄のように汚染物を洗浄剤に溶解して（化学的作用で）除去するのではなく、汚染物を洗浄物から遊離させて（物理的作用で）除去します。

 

超純水を使用したパーティクル除去工程では、微量の洗浄剤を添加することによってパーティクルとワークの静電反発力を高め、除去効率を向上させることが可能です。

・パーティクルやワークの材質に適した添加剤（パインアルファST-710）を使用する

・超純水や薬液の供給量、パーティクル濃度を管理する

・フィルターの交換を適切に行なう

・超音波の出力や周波数を最適化する