洗浄分野の分析機器一覧
洗浄液やリンス液の分析、洗浄基板等の表面分析、イオン残渣分析など良好な洗浄品質を維持するために様々な分析機器を用いてお客様をサポート致します。
| 分析機器 | 機種名 | 主な使用用途 |
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| 光学顕微鏡 | ①VHX-6000（キーエンス社） |
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| ②KIEⅡ-Z3（京セラオプテック社） | ||
| ③OPTIPHOTO 300（ニコン社） | ||
| コンタミノメータ | CM-11コンタミノメータ(Gｅｎ3 Systems Limited) |
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| イオンクロマトグラフィー(IC) | ICS-2100(Dionex社製) |
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| ガスクロマトグラフィー(GC) | Agilent 6850(Agilent) |
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| 走査型電子顕微鏡(SEM) エネルギー分散型X線分光法(EDS、EDX) |
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| 3D顕微レーザーラマン分光装置 | - |
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| フーリエ変換赤外分光光度計(FT-IR) | - |
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| X線光電子分光法(ESCA、XPS) | - |
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| 走査型プローブ顕微鏡(SPM、AFM) | - |
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| 蛍光X線分析装置(XRF) | - |
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洗浄物の清浄度評価
異常個所の原因解明分析
液体（洗浄液・リンス）の分析
元素分析
