洗浄導入事例 シリコンフォトニクス・光導波路用 現像液
荒川化学工業の現像液は、優れた現像力、高寿命を特長としたファインピッチパターン(数μm)の光導波路を現像可能です。
非危険物であるため、安心してご使用頂けます。
概要
優れた「現像力(ファインピッチ)」「高寿命(高濃度でも現像可能)」「安全性(非危険物)」を
兼ね備えた現像液『パインアルファ』をご提供致します。
特長
- ➢高現像力:数μm程度のファインパターンから、数100μm以上のラフパターンまで幅広く対応。
- 回路にダメージを与えず、歩留まりを向上!!
- ➢高寿命 :感光性レジスト樹脂に対し高溶解力であるため高寿命!!
- 最大50%溶解液でも現像可能。ランニングコスト低減につながります。
- ➢安全性 :消防法上の非危険物であり安全にご使用頂けます。
- ➢お客様の要望に合わせ最適な洗浄方式、洗浄液を提案致します。
回路現像例(橙:樹脂、黄:回路、緑:基板)
洗浄剤とシステムの組み合わせから、基板の現像残りや残渣付着、回路膨潤を抑制し、
各製品に適した洗浄条件を提案致します。
対象アプリケーション
⦿シリコンフォトニクス、光導波路
⦿光通信モジュール、光電回路
⦿光コネクタ、光電素子
対象汚れ
◍感光性レジスト樹脂
ご興味のある方は、こちらよりお気軽にお問合せください。
以上