背景

某新規デバイスの開発において、感光性樹脂を現像するためのプロセス確立が必要となった。

解決方法

現像システム（現像方式及び現像液）の種々検討により実験機に必要な性能を明確にした。

現像システムを検討した結果、「シャワー方式＋パインアルファST-180K」で最も優れた結果が得られた。

各種条件設定可能な小型シャワー実験機を導入した。

効果

感光性樹脂の現像システムの最適化、技術確立ができた。

採用プラン概要

洗浄工程：パインアルファST-180K、　リンス工程：純水