洗浄導入事例 インターポーザー基板④ 高スループット 自動ダイレクトパス洗浄システム

高スループット、金属変色も防止! ダイレクトパス洗浄システムの導入!

導入事例

背景

バッチ処理方式で大量の半導体パッケージ基板を一括洗浄したい。

基板の電極パッド(銅、金メッキ、等)の変色が懸念される。

解決方法

バッチ洗浄、高いスループットを有するダイレクトパス洗浄方式を選定。

短時間で水切り・乾燥が可能なダイレクトパス乾燥方式を適用。

効果

パッケージ基板をバスケットに満載する事で洗浄性、スループットが相乗効果的に向上し、優れた生産性を実現。

従来設備の5倍の500万pkg相当/月・台の生産能力を賄うことができた!

短時間で水切り・乾燥が可能なため、金属の酸化変色もなく高い品質を維持。

採用プラン概要

洗浄工程:パインアルファST-100SX、180K リンス工程:純水

 

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