洗浄導入事例 インターポーザー基板④ Direct Pass洗浄システム

高生産性、電極変色への対応 Direct Pass洗浄システム

導入事例

背景

バッチ処理方式で大量の基板を一括洗浄したい。

基板の電極部分(Cuパッド、Auパッド)などの変色は発生しないこと。

また、生産数量の観点から5minタクトで処理したい。

解決方法

DirectPass(DP)洗浄方式を選定。基板をバスケットに満載設置する事で洗浄流速を向上。

通常、基板処理枚数が増えると洗浄性は下がるが、当該方式は洗浄性が上がる方向となる。

電極変色も同思想のDP乾燥方式を利用する。

効果

大量の基板をバッチ方式で一括処理し、良好な洗浄性、乾燥性を実現できた事から電極変色の抑制にも繋がった。

また、洗浄装置の槽構成を8槽式とすることで、5minタクト生産に対応。タクトに余裕があるなら4槽構成も可能。

採用プラン概要

洗浄工程:パインアルファST-100SX、リンス工程:純水

 

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