洗浄導入事例 脱脂洗浄① 完全水溶性脱脂用洗浄システム

油脂、イオン性成分を効率的に除去する完全水溶性脱脂用洗浄システムの確立!

導入事例

背景

半導体製造装置等の高度脱脂洗浄用途、アルカリ洗浄剤、炭化水素系洗浄剤では洗浄性不十分で有り、残留油分、残留イオン成分により製品を汚染する可能性があった。

解決方法

完全水溶性でかつ高い脱脂能力を有する洗浄剤と純水リンスの組合せで油脂とイオン性成分の両方を除去。

効果

清浄度の規格をはるかに下回る清浄度を達成。

採用プラン概要

洗浄工程:パインアルファST-100N、又は100CA、リンス工程:純水

 

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